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第14章 星火一号光源测试(上) (第2/2页)

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ASML的EUV 光刻机机台得“光线”经过十几面反射镜,将光从光源一路导到晶圆,最后大概只能剩下不到 2% 的光线,能量浪费严重,一台光刻机一天使�

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